Uzlabotos pusvadītāju un augstākās klases{0}}ražošanas procesos šķidruma pārvades sistēmām ir izšķiroša nozīme procesa stabilitātes, produkta iznākuma un darbības drošības nodrošināšanā. Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. piedāvā visaptverošus rūpniecisko šķidrumu pārvades risinājumus, kas izstrādāti augstas-tīrības, korozīviem un precīzi{5}}vadāmiem materiāliem. Mūsu risinājumi aptver visu plūstošo ceļu-no avota izplatīšanas līdz --lietošanas vietai-, nodrošinot uzticamību, tīrību un ilgtermiņa veiktspēju{11}}prasīgās procesu vidēs.
Nozares izaicinājumi šķidrumu pārneses sistēmās
Augstas tīrības un piesārņojuma kontrole
Pusvadītāju procesos tiek izmantotas īpaši{0}}tīras ķīmiskas vielas un īpaši tīrs ūdens (UPW). Pat nelieli metālu joni, daļiņas vai ekstrahējamie materiāli var tieši ietekmēt ierīces ražīgumu. Tradicionālās rūpnieciskās šķidruma sistēmas bieži neatbilst progresīvo procesu mezglu tīrības prasībām.
Kodīgi un sarežģīti materiāli
Daudzām tehnoloģiskām ķimikālijām, piemēram, skābēm, sārmiem un oksidētājiem, ir spēcīgas kodīgas īpašības. Šķidruma pārneses komponentiem ir jāsaglabā ķīmiskā saderība un mehāniskā integritāte ilgstošas -iedarbības laikā.
Nepārtraukta darbība un sistēmas uzticamība
Ražošanas instrumenti darbojas 24/7. Jebkura noplūde, savienojuma kļūme vai plūsmas nestabilitāte var izraisīt aprīkojuma dīkstāvi, vafeļu lūžņus vai drošības riskus. Augsta sistēmas uzticamība ir būtiska.
Kompakts aprīkojuma dizains
Mūsdienu pusvadītāju iekārtām ir nepieciešams blīvs cauruļvadu izvietojums ierobežotā telpā. Šķidruma sistēmām ir jāatbalsta kompakta uzstādīšana, precīza maršrutēšana un vienkārša apkope.
Galvenie tehniskie risinājumi
Augstas-tīrības šķidruma pārvietošanas risinājumi
Īpaši izstrādāts īpaši{0}}tīrām procesu vidēm.
Materiālu izvēle
- Augstas-tīrības pakāpes PFA, PTFE un PVDF
- Zems metāla jonu saturs un minimāls ekstrahējamais daudzums
Iekšējās virsmas kvalitāte
- Gludi iekšējās plūsmas ceļi
- Samazināta daļiņu adhēzija un ķīmisko vielu aizture
Tipiski pielietojumi
- Slapji soliņi un tīrīšanas instrumenti
- Ķīmisko vielu piegādes sistēmas
- UPW sadales līnijas
Korozijizturīgs-un ilgmūžīgs-dizains
Izstrādāts, lai izturētu agresīvu ķīmisko vidi.
Ķīmiskā saderība
Piemērots HF, H2SO4, HCl, H2O2 un citām agresīvām vidēm
Strukturālais dizains
- Sprieguma-plaisām-izturīga ģeometrija
- Dead{0}}zona-bezmaksas iekšējie kanāli
Darbības priekšrocības
- Pagarināts kalpošanas laiks
- Samazināti apkopes intervāli
- Zemākas kopējās īpašuma izmaksas
Precīza savienojuma un blīvēšanas tehnoloģija
Nodrošina veiktspēju bez noplūdēm{0}}nepārtraukti darbojoties.
Savienojuma metodes
- Fusion{0}}metinātie savienojumi
- Modulāri ātrās{0}}savienojuma piederumi
- Pielāgoti interfeisa risinājumi
Blīvēšanas veiktspēja
- Pastāvīgs blīvējuma spēks
- Izturība pret spiediena svārstībām un termisko ciklu
Priekšrocības
- Mikro-noplūžu novēršana
- Atkārtojama montāžas kvalitāte
- Atbalsts biežiem apkopes cikliem
Pielāgošanas un inženiertehniskais atbalsts
Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. nodrošina spēcīgu inženiertehnisko atbalstu visā projekta dzīves ciklā.
- Procesu datu nesēju saderības novērtējums
- Šķidruma sistēmas izvēle un konfigurācijas atbalsts
- Cauruļvadu izkārtojuma optimizācija
- Prototipu pārbaude un validācija
- Tehniskā dokumentācija un uzstādīšanas norādījumi
Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. Rūpnieciskie šķidruma pārnešanas risinājumi nodrošina uzticamu, tīru un stabilu šķidruma pārvaldību progresīvās ražošanas vidēs. Pateicoties materiālu zināšanām, precīzai inženierijai un sistēmas-līmeņa projektēšanai, mēs palīdzam klientiem sasniegt drošākas darbības, lielāku ienesīgumu un ilgtermiņa procesa stabilitāti-.